Stikstoftrifluoried (NF3) Gas met hoë suiwerheid
Basiese inligting
| CAS | 7783-54-2 |
| EC | 232-007-1 |
| UN | 2451 |
Wat is hierdie materiaal?
Stikstoftrifluoried (NF3) is 'n kleurlose en reuklose gas by kamertemperatuur en atmosferiese druk. Dit kan onder matige druk vloeibaar gemaak word. NF3 is stabiel onder normale toestande en ontbind nie maklik nie. Dit kan egter ontbind wanneer dit aan hoë temperature of in die teenwoordigheid van sekere katalisators blootgestel word. NF3 het 'n hoë aardverwarmingspotensiaal (GWP) wanneer dit in die atmosfeer vrygestel word.
Waar om hierdie materiaal te gebruik?
Skoonmaakmiddel in die elektroniese industrie: NF3 word wyd gebruik as 'n skoonmaakmiddel vir die verwydering van oorblywende kontaminante, soos oksiede, van die oppervlaktes van halfgeleiers, plasmavertoonpanele (PDP's) en ander elektroniese komponente. Dit kan hierdie oppervlaktes effektief skoonmaak sonder om dit te beskadig.
Etsgas in halfgeleiervervaardiging: NF3 word gebruik as 'n etsgas in die vervaardigingsproses van halfgeleiers. Dit is veral effektief in die ets van silikondioksied (SiO2) en silikonnitried (Si3N4), wat algemene materiale is wat gebruik word in die vervaardiging van geïntegreerde stroombane.
Produksie van hoë-suiwer fluoorverbindings: NF3 is 'n waardevolle bron van fluoor vir die vervaardiging van verskeie fluoorbevattende verbindings. Dit word gebruik as 'n voorloper in die vervaardiging van fluoropolimere, fluorkoolstowwe en spesiale chemikalieë.
Plasmagenerering in platpaneelskermvervaardiging: NF3 word saam met ander gasse gebruik om plasma te skep in die produksie van platpaneelskerms, soos vloeibare kristalskerms (LCD's) en PDP's. Die plasma is noodsaaklik in die afsetting- en etsprosesse tydens paneelvervaardiging.
Let daarop dat spesifieke toepassings en regulasies vir die gebruik van hierdie materiaal/produk kan verskil volgens land, industrie en doel. Volg altyd veiligheidsriglyne en raadpleeg 'n deskundige voordat hierdie materiaal/produk in enige toepassing gebruik word.
